1.高純度 99.9%(3N)品2.耐消化性の向上がはかられている
CaO(3N) > 99.9%
吸水率[%]:0.0熱伝導率[W/m・K] :16.7(室温~1000℃)熱膨張係数×10-6/℃:13.6
スパッタリング・ターゲット各種研究用ルツボ保護管、ノズル