1.99.9%(3N)2.絶縁性に優れている
MgO(3N) > 99.9%
吸水率[%]:0.0三点曲げ強度[MPa]:118(3N), 127(2N)熱伝導率[W/m・K] :44.4(3N), 48.2(2N)(室温~1000℃)熱膨張係数×10-6/℃:14(3N), 14(2N)
スパッタリング・ターゲット