緻密質セラミックス

マグネシア

MgO-S

特性

1.99.9%(3N)
2.絶縁性に優れている

成分

MgO(3N) > 99.9%

物性

吸水率[%]:0.0
三点曲げ強度[MPa]:118(3N), 127(2N)
熱伝導率[W/m・K] :44.4(3N), 48.2(2N)
(室温~1000℃)
熱膨張係数×10-6/℃:14(3N), 14(2N)

使用例

スパッタリング・ターゲット